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第1001章 殊途同归的EUV(4 / 7)

下楼便直接走向停车场,却不料李明柳这家伙比他更早一步地站到了车门边。

“你干啥?”苏远山见他拉开车门,哭笑不得。

“知道你要去宏芯那边,我也过去看看。”李明柳一脸的坦然,随着傅振华呵呵地开锁,他一把拉开车门,先一步钻了进去。

苏远山:“……”

不得已,苏远山也钻进了后座,随后韩依依替他关上车门,回到前排后,傅振华便启动汽车,缓缓驶向大门。

苏远山偏头望向李明柳,看了几眼后摇头感慨:“你这家伙,老张都没你积极。”

“老张是腿脚不利索了,再说他那边本来就有宏芯的实验室,时刻关注到的……我一天到晚哪有空过去啊?”李明柳耸了耸肩,随即便正色起来:“你刚才说验证机,是设计中还是什么?”

“据说已经设计完了。”

“嗯,是全反射式的?光源搞定没有?”

“光源据说还差一点,但验证机嘛,主要是验证思路的,不是要解决所有问题的。”苏远山深深地吸了口气,轻声道。

他确实很想看看宏芯这边的验证机设计方案是什么样子的。

——在后世,euv光刻机的概念图到处都是,但在现在……即便是asml前两年“断粮”的时候,都没有公开设计图。

李明柳听了便点了点头,不再说话。

汽车一路驶出大门,上了正道后在右侧拐了个弯,紧接着又前进了两千米左右,便抵达了宏芯的大门。

当看到车牌和挡风玻璃下的通行证后,门口的保安直接放行。奥迪便沿着一条弧形的园区路驶向光学实验中心。

头发白了一般,但精神异常矍铄的郑振川领着一大群人站在门口,看到苏远山的座驾后,远远地便挥舞起了手。

……

“郑叔!”苏远山呵呵地伸出双手,和郑振川紧紧的握着。

随后,李明柳倒是矜持了点,只是一只手握着,不过

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