,微米级的精度下,远没有后世纳米级的精度下困难。
否则asml也不会垄断这玩意十几年——好吧,事实上是asml已经垄断了光刻机领域,也变相地直接垄断了双工件台。
如果现在双工件台能够成功出世,并与尼康,佳能,以及尚在襁褓中asml等光刻机建立起“联姻”一般的关系,那么,它天生便会完成垄断。
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